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特殊氣體分離方法
特殊氣體的分離方法一般包括蒸餾法、吸附法、催化法和膜分離法。包頭工業(yè)氣體廠家主要方法如下介紹了分離特殊氣體的蒸餾、吸附和膜分離。
特種氣體是電子工業(yè),特別是大型集成電路制造不可缺少的材料氣體,其發(fā)展應(yīng)與集成電路工業(yè)的發(fā)展同步或先進。特種氣體純度向高純度方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的必然方向,要求特種氣體分離技術(shù)不斷進步,以滿足純度要求,實現(xiàn)氣體的市場價值。在這三種分離技術(shù)中,蒸餾技術(shù)的操作相對復(fù)雜,蒸餾汁仍處于半經(jīng)驗狀態(tài),但分離氣體產(chǎn)品的純度能滿足市場上各種氣體的純度要求;吸附分離技術(shù)也需要吸附劑的發(fā)展;膜分離技術(shù)是新的分離模式,發(fā)展迅速,對蒸餾技術(shù)和吸附分離技術(shù)構(gòu)成了不同程度的威脅。簡而言之,這三種方法各有優(yōu)缺點,適應(yīng)不同場合,滿足不同要求,為特種氣體的分離做出自己的貢獻。
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